PiBond Oy, Kutojantie 2, 02630 Espoo, Finland seiji.nagahara@tel.com;
PiBond Oy, Kutojantie 2, 02630 Espoo, Finland;
PiBond Oy, Kutojantie 2, 02630 Espoo, Finland;
PiBond Oy, Kutojantie 2, 02630 Espoo, Finland;
PiBond Oy, Kutojantie 2, 02630 Espoo, Finland;
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Paul Scherrer Institute, 5232 Villigen PSI, Switzerland;
Paul Scherrer Institute, 5232 Villigen PSI, Switzerland;
PiBond Oy, Kutojantie 2, 02630 Espoo, Finland;
机译:EUV面罩/抗蚀剂会变黑! 20nm以下的晶体管更新
机译:EUV的新型材料开发可抵抗20nm以下的半节距
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机译:高级EUV负性调抗蚀剂和底层方法,展示Sub-20nm半间距分辨率
机译:将高级色谱方法与新颖的化学信息学方法相集成,可用于基于代谢组学的高分辨率质谱。
机译:使用薄的适形的电阻传感器对软材料中的热传输特性进行定量表征的先进方法
机译:用于EUV光刻的负色度化学放大分子抗蚀剂平台的11nm半间距分辨率