Dept. of Physics, Nanjing Normal Univ./Nanjing, China, 210097;
MEMS; pressure sensor; characteristic matrix; residual stress;
机译:MEMS电容式压力传感器粘弹性圆形隔膜的动态分析方法
机译:基于多层膜片的光学微机电系统压力传感器的新型分析方法
机译:基于多层膜片的光学微机电系统压力传感器的新型分析方法
机译:基于圆形多层膜片的光学MEMS压力传感器分析
机译:基于MEMS的Fabry Perot压力传感器和通过阳极键合在光纤上的非粘合式集成。
机译:基于硅MEMS技术的高温环境高一致性光纤法布里 - 珀罗压力传感器
机译:在圆膜片上使用环形谐振器的光学MEMS压力传感器