2軸バルクPZTジャイロに関する研究

摘要

本研究室では、耐衝撃性に優れ、加速度の影響を受けにくいバルクPZTを用いた1軸振動型圧電ジャイロを検討してきた。今回、単一の振動モードで2軸検出可能な形状の検討を行い、その設計、試作を行ったので報告する。