Cr/Si傾斜カンチレバーとエラストマを用いた多軸触覚センサの作製と有限要素解析

摘要

超高齢化社会の到来とともに介護ロボットを始めとしたヒューマンサポートロボットが注目されている。このようなロボットでは人体への安全性を保証するために圧力と剪断を検知できるセンサが必須となる。我々はこれを満たすものとして傾斜角を持つカンチレバーを組み合わせて圧力および水平方向2軸の剪断力を計測可能とした多軸触覚センサシステムを提案している。これまでCrやポリマーを応力制御層に用いて傾斜カンチレバーを作製し、圧力·剪断ともに検知できることを示した。今回、感度の改善を目指して、作製したCr/Siカンチレバー型触覚センサ素子について、有限要素法を用い出力の解析を行ったので報告する。