球電極対のマイクロギャップESDに伴って発生する過渡電界ピーク値の距離特性

摘要

ESDによる過渡電界の発生特性について近傍から十分な距離を隔てた遠方までの距離特性について感度が異なる3種の光電界センサを用い，連続測定を行った。さらに，近傍界測定でのセンサの侵襲影響を極力小さくするため特別仕様の広帯域光電界センサを用い，ESDによるインパルス性過渡電界ピーク値の距離特性について考察を行った。