エキシマレーザ用パルスパワー電源の回路シミュレーション

摘要

可飽和リアクトルを考慮しエキシマレーザ用パルスパワー電源のシミュレーションを実施した。結果、主転送と負荷からの反射エネルギーまで表現できる様になった。更に回生回路のシミュレーションも可能となった。今後は可飽和リアクトルの飽和方向を決めるリセット回路を追加し反射エネルギーのシミュレーション精度を向上させ、回生回路の最適化を図る。