V_2O_5正極を用いた全固体リチウムイオン薄膜電池の作製

摘要

全固体リチウムイオン薄膜電池は，エネルギー密度が高く小型化が可能であり，また他の薄膜素子と同様MEMSや半導体プロセスと整合性を有していることから，センサデバイスの駆動源やエナジーハーベスタの電力貯蔵への応用が期待されている(1)．本研究では，室温下での成膜と大気中での充放電動作が可能な電極および電解質材料として，V_2O_5，LiPON，Siのアモルファス薄膜から構成される薄膜電池を作製し，その充放電特性を評価した．薄膜電池の作製は，移動マスク機構を有する多元スパッタ装置を用いて電極と固体電解質層を大気開放せず積層することで良好な界面構造を作製した．