ナノピペットを有するプローブ顕微鏡を用いた 大気圧プラズマジェットの局所照射による微細堆積加工法の開発

摘要

大気圧プラズマジェット（Atmospheric pressure plasma jet: APPJ）は、ノズルからジェット状に射出されるプラズマである。大気圧下で室温程度の低温なプラズマが得られるため、工業や医療など様々な分野で大きな注目を集めている。