ホローカソードにおける放電モードおよびプラズマ特性の実験的研究

摘要

ホローカソードに生じるプラズマのアノード形状依存性の解明を目的として，ガス流量，放電電流を変化させたときのプラズマ諸量をラングミュアプローブにより計測し比較した結果，以下の結論を得た．（1）リングアノードでは40A,50sccm の条件においてSpot mode となり，それ以外の条件ではPlume modeとなったが，円筒アノードではSpot mode が実現しなかった．これは円筒アノード外部への中性ガス流漏出が放電モード遷移に影響を与えている可能性があり，今後の課題として円筒アノード内径を変えたときの放電モード遷移の関係について明らかにする必要がある．