平面型グラフェン電子源の放出効率向上と大電流化に向けた取り組み

摘要

推進剤不要で低電力駆動可能な高電流密度電子源である平面型グラフェン電子源を対象に，放出効率向上へ向けた製作条件の変更を行い，特性評価を行った．その結果，放出面積50 × 50 μm~2 の電子源において従来よりも20 倍以上の高効率化に成功した．また，印加電圧14 V において電子電流密度90 mA/cm~2，電子電流2.3 μA の性能を示した．今後，放出電子電流の大電流化に向け，小面積アレイ電子源の製作と絶縁破壊電圧の向上に取り組む予定である．