AIP法により被覆したクロム窒化物皮膜の摩耗特性に対する影響因子

摘要

アークイオンプレーティング法により被覆したクロム窒化物皮膜について、その耐摩耗性を支配する因子を明らかにすることを目的に研究を行ってきた。前報では基板温度とバイアス電圧による膜質の変化について調査し、圧縮残留応力の増加により皮膜の耐摩耗性が劣化することを指摘した。今回は、ガス圧力による膜質の変化について調査を行い、皮膜の耐摩耗性に及ぼすCrN結晶の配向性の影響について検討を加えたので報告する。