マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 慣性センサのノイズ解析手法

摘要

CMOS-MEMS 慣性センサの統合的なノイズ解析手法を 提案した。センサの機械的?電気的ノイズ源を検討し、ノ イズをモデル化した。各ノイズの大きさをVerilog-A を用い たノイズ等価モデルとして、既存の回路シミュレータ上で 表現した。提案したモデルを用いたマルチフィジクスシミ ュレーションの結果と、実際のCMOS-MEMS 慣性センサ のノイズ値とを比較し、提案モデルの妥当性を確認した。 本研究で提案した手法は、今後の慣性センサの統合的なノ イズ解析において重要な役割を果たすと考える。