形状記憶合金厚膜アクチュエータとSUBばね を用いたアレイ状超薄型触覚ディスプレイ

摘要

触覚による感覚を触覚ディスプレイにより再現して提示する多くの研究が行われており、遠隔医療機器ゃモパイル機器などへ応用が期待されている[4-6]。筆者らは、形状記憶合金(SMA)厚膜を用い、変位と発生力を両立する超薄型触覚ディスプレイを考案し（図1)、1mmピツチの板ばね型SMA厚膜ァクチユエータアレイを作製した[7]。低周波での駆動では20 nmの振幅および5 mNの発生力が得られ、30Hz程度の駆動では振幅が約50 %に低下したが、皮膚へ刺激を与える十分な動作の見通しを得た[8]。