塗布熱分解法で成膜したWO_3のNOガス検出特性

摘要

高品質なWO_3薄膜を安価で一般的な試薬を用いた水溶液塗布熱分解法を用いて成膜する方法を開発し，アルミナ基板上に成膜したWO_3薄膜のNOガス検出特性をH_2ガスならびにNH3ガスの特性と比較した。当該薄膜はNOガスに対してけた違いに大きい感度を有し，本来は還元性ガスであるNOガスが酸化性ガスとして検出されることや，ガス濃度に対する抵抗変化はSchottky障壁とLangmuirの等温吸着を仮定した式で記述できることを明らかにした。