微小径ドリル加工に関する研究―極小径超硬ドリル材料の回転曲げ疲労試験

摘要

近年，半導体や各種電子機器の極小化，多機能化が進み，直径数十～数百μmの微小穴加工の需要が増えてきている．このような微小径ドリル加工を行う場合，主軸の回転数が大きいため，工具ホルダへの取り付け誤差などにより，回転ぶれを生ずると，精密加工が困難になるばかりでなく，ドリルに過大な半径力が作用して，疲労寿命に至ることが報告されている．一般の超硬合金の疲労強度はコバルト量とタングステンカーバイド粒度に依存するとされているが，超微粒子超硬合金については，明らかにされていない．そこで本報では３種類のΦ0.1mm超微粒子超硬合金ドリルブランクを用いて高速回転時におけるたわみと半径力および疲労寿命の関係について調査検討し，超硬材種と疲労強度の関係について調査検討した．