ELID 研削における研削液供給方法に関する研究（第7報：加工効率の向上を目的とした微細ピン加工技術 その２）

摘要

近年,微細形状を有する超小型部品の製作技術において,小径ツールを用いた高速回転·高速送り切削による高精度·高品位加工の研究は,めざましい進歩を遂げている。本研究では今までに,小型縦型円筒研削加工機“神風”にELID 研削システムを適応し,また,クーラント方法としてミストタイプセミドライ方式を適用することで,微細加工において必要不可欠なマイクロツールの開発を行ってきた。本報においては更にマイクロツール加工の高能率化の為に,ELID 研削システム搭載の卓上型円筒研削加工機"CYLIN"の開発を行った。同機について,超硬合金を対象に基礎加工実験を行ない、作製したツールにDLC コーティングを施し切削加工における送り速度の影響について検討を行ったので報告する。