差動排気型3元同時成膜法による窒化物/酸化物系ナノコンポジット膜の作製

摘要

ナノコンポジット硬質保護膜に関しては，TiNやCrNなどの遷移金属窒化物とSi_3N_4 , BNなど他の窒化物や炭化物などとの複合膜が数　多く研究されているが，窒化物と酸化物によるナノコンポジット膜の報告は見られない。同一チャンバーで，酸化物と窒化物とのナノコ　ンポジット膜を作製しようとする場合，チャンバー内は同じ雰囲気となるので，窒素と酸素の雨イオンの存在する雰囲気下で楓酸化物　と窒化物をそれぞれ別のターゲットを用いて作製しても，両者は複合化し，複合窒酸化物が形成され，窒化物と酸化物が相分離した組織　を得ることは困難である。