Micro-mirror; Diffraction grating; Optical MEMS; Microfabrication;
机译:防反射平面或粗糙图案的顶部硅锥光栅的光学特性
机译:灵活可调的微波光子FIR滤波器,结合了波长间隔可编程,基于阵列微镜的光学滤波器
机译:远程位移传感器的硅光栅微细加工
机译:用于完全可编程微衍射光栅的光学扁平硅片微镜的微制造
机译:硅光栅耦合器,用于光纤和硅纳米线之间的低损耗耦合
机译:硅丝波导上的硅基缓冲器周期光栅条辐射光学感测的数值模拟
机译:用于完全可编程的微衍射光栅的光学平面硅微镜的微制造