ガラス基板上に蒸着されたアルミニウム薄膜の大気圧プラズマジェットを用いた横方向エッチング: 表面温度のプラズマ照射時間依存性

摘要

大気圧プラズマを用いた金属の表面加工の研究が注目されている。以前我々は、大気圧アルゴン(Ar)プラズマジェットを、ガラス基板上に真空蒸着されたアルミニウム(Al)薄膜に60分間照射すると、Al薄膜が直径約26 mmの円状にエッチングされることを報告した。