低電子温度再結合プラズマを用いたアンモニア合成

摘要

非平衡プラズマによりN_2 分子の振動励起状態を効率的に生成し、アンモニア生成の効率化を図る研究が行われている。しかし、N_2 分子の励起過程は複雑であり、その制御と解明が課題となっている。本研究室のヘリコン波放電装置では、電子温度1eV以上の電離進行プラズマと0.1eV程度の再結合プラズマを生成可能である。0.1eV のような低電子温度では、電子衝突解離は無視でき、振動励起状態のみを選択的に生成可能である。本実験では、再結合または電離進行状態にある3 種類のプラズマを用いて電子温度がNH3 合成に与える影響を調査した。