グラフェンバイオセンサにおけるゲートリーク電流低減検討

摘要

生体分子を計測するグラフェン電界効果トランジスタ(GFET)を用いたバイオセンサでは、電解液中に挿入された参照電極よりトップゲート電圧を可変印加させながら、ソース／ドレイン間に流れる電流値の変化により伝達特性を計測する。本バイオセンサでの測定誤差の原因の一つとして、電解液を介してトランジスタ基板とゲート電極間を流れるゲートリーク電流が挙げられ、この抑制が本バイオセンサの測定精度向上の鍵となる可能性が高い。本研究では、このリーク電流の抑制を図るため、GFET基板上にインクジェット描画による絶縁樹脂のパターニング塗布を実施することにより、リーク電流の低減を試みた。