高繰り返しホログラフィックフェムト秒レーザー加工のための強誘電性液晶空間光変調素子への計算機ホログラムの最適化

摘要

レーザー加工において，単位時間あたりの加工量である加工スループットは，コストを決める重要な指標である．特定の加工に対して，レーザーエネルギーをいかに分配するかがキーである．そのために，光スキャナやステージの高速化とあわせて，計算機ホログラム(CGH:computer-generated hologram)を用いた空間光制御技術が有効である．このホログラフィックレーザー加工において，CGHを表示する空間光変調素子(SLM:spatial light modulator)の性能が重要である．