キャビテーションプラズマスパッタリングを用いて作製した 銀ナノコロイド溶液の処理時間依存性

摘要

銀ナノ粒子はその物理化学的特性を生かして色材、抗菌剤、触媒として応用されている。金属ナノ粒子の合成方法として、気相法、液相法がある。気相法は高純度で微細な粒子が得られやすいが、高価な生産設備が必要である。液相法は比較的容易に合成可能であるが、合成に長い時間を要する。そこで近年、低コストで高速合成が可能なソリューションプラズマ法が提案されている。しかしながら、ソリューションプラズマ法はジュール熱による溶媒の沸騰によって発生させた気泡内にプラズマを生成するため、ナノ粒子の大量合成は困難である。この問題を解決するために、減圧沸騰により発生させた微小気泡曇を利用するキャビテーションプラズマ法を独自に開発してきた.