フリップチップ実装技術を用いた超高速光半導体送信器

摘要

広帯域化実装技術として、Hi-FIT 技術について報告した。Hi-FIT 技術をEA-DFB レーザに適用することで、3 dB 帯域59 GHz を達成し、107 Gbaud 4-PAM 信号変調を実現した。また、MZ 変調器に本技術を適用することで、測定器限界である、3 dB 帯域67 GHz 以上であることを確認し、120Gbaud QPSK 変調を実現した。本技術は100 Gbaud 級の非常に高速な光送信モジュール実現に非常に有用な技術である。