Computational modeling; Etching; Level set; Silicon; Simulation; Solid modeling; Bosch Process; Level Set Method; Modeling; Simulation; deep reactive ion etching (DRIE);
机译:水平集方法对博世过程中表面形貌演化的三维模拟
机译:基于三维水平集的Bosch过程仿真,使用射线跟踪进行通量计算
机译:基于窄带能级集和蒙特卡洛方法的DRIE过程的三维仿真
机译:水平集方法的聚焦离子束加工三维模拟
机译:光纤矩阵复合材料中的裂纹传播:使用级别设置方法建模和仿真
机译:基于水平集方法的二维数值模型对非均匀明渠水流的模拟
机译:基于水平集方法的聚焦离子束加工三维模拟