超高真空スパッタリング装置を用いて作製した極薄?高保磁力FePt探針による磁気記録媒体の高分解能?磁気力顕微鏡観察

摘要

磁気力顕微鏡（MFM)を用いて，磁性結晶粒径が6?7 nmの現行の垂直磁気記録媒体の微細磁 化状態を観察するには，結晶粒径以下の空間分解能が望まれる.我々，秋田大学および日東光器(株)は共同で 10kOe以上の高い保磁力を有するFePt探針を開発?製品化し，10nm程度の分解能を実現してきた.本報 告では，探針の先鋭化による更なる分解能の向上を図るために，極薄髙保磁力FePt薄膜の作製に適する超高 真空スパッタリング装置を用いた新たな製造工程でFePt探針を作製して，垂直磁気記録媒体を観察し，探針 の空間分解能を評価した.