device fabrication; gas-pendulum; micro-machined; tilt sensors;
机译:基于双轴微加速度计的倾斜传感器,在整个测量范围内具有最大的灵敏度和最小的不确定性
机译:Mems倾斜传感器的双轴测试台
机译:MEMS倾斜传感器的双轴测试台
机译:微机械摆式双轴倾斜传感器共模抑制加速度干扰的研究与设计
机译:飞秒激光微加工光纤可嵌入的应变和温度传感器,用于结构监测。
机译:AuTom-dualx:用于基于基准点标记的双轴倾斜系列全自动对准并同时重建的工具包
机译:双轴倾斜传感器的可变灵敏度研究
机译:集成微机械氢气传感器(最终报告,1999年9月1日 - 2004年8月31日)