radio frequency; MEMS; inductor; tunable;
机译:用于可调LC模块的AlSi MEMS可调电容器和Cu电感器的垂直共集成
机译:使用电热机械可调自组装MEMS电感器在HR基板上的1.3–2.4 GHz 3.1 mW VCO
机译:基于MEMS的可调谐曲折电感器
机译:基于电感的腔体MEMS滤波器实时监控系统
机译:使用MEMS开关技术和高Q电感器的准可调RF无源电路设计的研究
机译:硅衬底MEMS悬浮电感的电感值计算方法
机译:基于MEMS的可调谐曲折电感器