Waveguide-type head mounted display; blazed gratings; grayscale electron-beam lithography; ultra-violet nanoimprint lithography;
机译:使用紫外线可固化正性电子束光刻胶,通过紫外-纳米压印光刻和电子束光刻进行微通道制造
机译:使用纳米压印光刻技术进行高保真火焰光栅复制
机译:使用临界能量电子束光刻技术简单制造UV纳米压印模板
机译:高效闪光光栅的制造与复制灰度电子束光刻和UV纳米压印光刻
机译:使用软纳米压印光刻技术制造量子点光电子学的途径。
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:高效闪光光栅的制造与复制灰度电子束光刻和UV纳米压印光刻
机译:通过具有50nm线宽的X射线掩模的三电平电子束光刻制造,以及通过X射线纳米光刻复制