Photonics; Films; Silicon; Refractive index; Radio frequency; Optical fibers;
机译:通过远程氢微波等离子体CVD形成的碳化硅,碳氮化硅和氧化硅氧化硅薄膜
机译:干涉光刻图案化有机硅酸盐合成3D高温碳化硅和碳化硅陶瓷光子晶体的模板合成
机译:除了表面纳米内狭窄:结合静态和动态纳米indentation,评估化学气相沉积非晶氧化硅(SiO_x)和氧化硅(SiO_XC_Y)薄膜的内在力学性能
机译:用于光子波导的硅氧化膜
机译:用于先进光波导放大器的Erbium -ded硅 - 氧化碳材料
机译:氮掺杂对非晶碳氧化硅薄膜光致发光的影响
机译:含硅接枝共聚物薄膜的蜂窝状微结构碳氧化硅片