Design methodology and workflow for MEMS design

机译：MEMS设计的设计方法和工作流程

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In this paper MEMS models for different abstraction levels (from device level till system level) are considered. The workflow for MEMS design as a whole is presented.

机译：在本文中，考虑了用于不同抽象级别的模型（来自设备级别直到系统级别）。提出了MEMS设计的工作流程。

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来源
《International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design》|2011年||共4页
会议地点
作者
Petrenko Anatoliy;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 T-53;
关键词
FEM/FDM Model; MEMS system-level model; ROM (Reduced Order Model);

机译：FEM / FDM模型;MEMS系统级模型;ROM（减少订单模型）;

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