spectral confocal sensor; centering error; work piece rotary stage;
机译:摆臂轮廓仪:具有电容探头的大型反应结合碳化硅光学元件的高精度测试
机译:使用梯度 - 强度探头梁延伸共聚焦表面型材仪的纵向测量范围
机译:彩色共聚焦探头尺寸测量主要误差源的表征
机译:使用光谱共聚焦传感器测量摆臂探针探头的定心误差
机译:从多光谱测量中推断出高光谱传感器校准。
机译:勘误表:SutapunB.等。集成光纤共焦探头的开发和光束形状分析用于小半径透镜高精度中央厚度测量。传感器2015158512-8526
机译:使用激光跟踪仪测量摆臂轮廓仪的对准和臂长测量