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【24h】

Electrical Degradation Behavior of a-InGaZnO Thin-Film Transistors with Sm_2O_3 Gate Dielectrics

机译:具有Sm_2O_3栅极电介质的a-InGaZnO薄膜晶体管的电降解行为

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摘要

We investigate the electrical degradation behavior in amorphous-InGaZnO (a-IGZO) thin-film transistors (TFTs) with Sm_2O_3 gate dielectrics. The negative shift of threshold voltage in Sm_2O_3 a-IGZO TFTs can be attributed to the generation of extra electrons from oxygen vacancies in the a-IGZO channel.
机译:我们调查具有Sm_2O_3栅极电介质的非晶InGaZnO(a-IGZO)薄膜晶体管(TFT)中的电降解行为。 Sm_2O_3 a-IGZO TFT中阈值电压的负移可以归因于a-IGZO通道中氧空位产生的多余电子。

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