机译:多芯片自组装技术,用于先进的晶片对晶片3D集成,以精确地将批处理中的已知良好管芯对准
机译:具有腔结构的芯片尺寸组件的自组装:高精度对准和不带热压的直接键合,实现异质集成
机译:带有毛细管自组装的氧化物-氧化物热压直接键合技术,用于多芯片至晶圆异质3D系统集成
机译:自组装技术,具有高精度芯片对准和微观微磁盘键合,用于先进的模具到晶圆3D集成
机译:通过低温芯片对晶圆键合将铟镓砷MSM阵列与硅平台进行3D集成。
机译:带有毛细管自组装的氧化物-氧化物热压直接键合技术用于多芯片至晶圆异质3D系统集成
机译:具有腔体结构的芯片尺寸元件的自组装:高精度对准和直接键合,无需热压缩,用于异构集成