cooling; decentralised control; heat transfer; heating; lamps; lithography; photoresists; substrates; temperature control; thermoelectric devices; thermoelectricity; chilling; cooling; decentralized control; heat transfer modeling; integrated bake-chill system; microlit;
机译:基于灯热电的集成烘烤/冷却系统,用于光刻胶处理
机译:集成的烘烤/冷却系统,用于在光刻胶处理中控制整个晶圆的温度均匀性
机译:集成的烘烤/冷却模块,具有用于光刻胶处理的原位温度测量
机译:基于热电灯的光致抗蚀剂处理的集成烘烤系统
机译:基于干凝胶的集成传感器系统的检测和处理策略。
机译:基于代码的代理平台和移动多代理系统的材料集成分布式传感器处理的设计和仿真
机译:开发用于微光刻的集成烘烤/冷却系统