School of Electrical and Computer Engineering, Purdue University, West Lafayette, IN 47907;
atomic force microscopy (AFM); cantilever design; piezoresistivity; sensitivity; finite element analysis (FEA);
机译:具有应力集中区域的压阻硅悬臂梁的设计,用于扫描探针显微镜应用
机译:用于快速扫描探针显微镜调查的热机械和电磁驱动的压阻式悬臂
机译:用于扫描探针显微镜的压阻惠斯通电桥悬臂的校准和检查
机译:具有应力浓度区域(SCR)的压阻硅悬臂器设计用于扫描探针显微镜(SPM)应用
机译:应力MEMS CPW悬臂用于高频扫描探针显微镜。
机译:用于磁阻悬臂的扫描探针显微镜采用嵌套式扫描仪设计进行大面积扫描
机译:关于具有应力集中区域的压阻式硅悬臂梁的设计,用于扫描探针显微镜应用