机译:基于极性c轴倾斜的氧化锌和氮化铝薄膜的薄膜体声谐振器传感器的质量敏感性
机译:用于质量传感器的多层薄膜体声谐振器的灵敏度研究
机译:涂有乙酰胆碱酯酶的薄膜体声波谐振器质量负载传感器对有机磷农药的高灵敏度检测
机译:基于薄膜散装声谐振器的质量传感器
机译:基于MEMS的系统,用于使用薄膜体声波谐振器和IR / UV光学判别进行粒子暴露评估。
机译:带有振荡电路的灵敏度增强型薄膜体声谐振气体传感器及其检测应用
机译:用于GHz范围薄膜体声谐振器的Pb(Zr,Ti)O-3-基三元钙钛矿化合物的高耦合压电薄膜
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)