TPMSを指向した面外振動型エナジーハーべスタへのNdFeB薄膜磁石の応用

摘要

本研究では，TPMSを目的とした低背で設置できる面外振 動エレクトレツトエナジーハーべスタを提案した。解析結 果から，凹凸形状の磁性薄膜からの磁気反発力で，エレクト レツトの静電引力によるプルィン回避の可能性を示した。 さらに磁性材料とエレクトレツト構造を融合した，MEMS バッチ作製可能な新しいプロセスに取り組み，初期的な試 作結果を確認した。