円形ダイヤフラムを有するシリコン基板光導波型圧力センサ

摘要

近年，IoT (Internet of Things)に注目が集まっていて， 様々なモノにセンサを実装する要求が増えている。特に， 圧力センサは，医療分野の生体計測と産業分野でのガス圧， 流体圧計測をはじめとして幅広い需要があり，今後さらに 普及していくと予想される。現在主流の圧力センサは電子 式であり（1)'(2)，最近はMEMS技術の進歩に伴って，ピエ ゾ型と静電容量型のMEMS圧力センサが実用化されてい る。しかし，電気現象を利用しているため，漏電やショー トによる事故の恐れ，電磁ノィズの影響による誤作動の問 題があり，可燃性ガス環境下や医療分野の生体計測では対 策が必要になることもある。一方，近年の光エレクトロニ タス技術の進歩に伴って光波を利用した圧力センサは注目 され，様々な原理.構造のセンサが研究開発されている。は (4)光波を利用した圧力センサは，漏電やショートの可能性が なく，電磁ノイズの影響も受けないので，可燃性ガスの充 満する悪環境下や生体圧計測でも信頼性•安全性の高いセ ンシングが期待できる。その中でも光導波型圧力センサは， MEMS技術を利用して導波路等の光学部品と圧力を検知す る機械構造物をヮンチップに一体形成することにより，小 型•軽量化が実現でき，多くのグループにより研究成果が 報告されてきた。(4)， (5)