薄膜金属ガラスを用いた微小ダイアフラム構造体の張力制御法

机译：利用薄膜金属玻璃的微振膜结构的张力控制方法

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更なるMEMSの小型化'高機能化のため，微小薄膜構造体の作製プロセスの確立が求められている.MEMSの小型化は，生産性向上が期待できる一方，素子の厚さも薄くなリ剛性の低下が顕著になる.その結果，プロセス時に導入される内部応力の影響が無視できなくなリ，安定したデバイス性能を実現のために，従来とは異なるプロセスや材料が必要となる.本報告では，過冷却液体域での内部応力を緩和が可能な薄膜金属ガラスに着目しスパッタ時のAr圧調整による内部応力制御(2)と熱処理による薄膜金属ガラスの応力緩和にょリ，MEMSの基本構造である平坦なダイァフラムの作製を目的とした.

机译：MEMS的进一步小型化为了改善功能，需要建立微薄膜结构的制造工艺，可以期望使MEMS小型化以提高生产率，但是装置的厚度也较小。结果，在工艺过程中引入的内部应力的影响不容忽视，并且需要与常规工艺和材料不同的工艺和材料以实现稳定的器件性能。在本报告中，我们重点研究了一种可以缓和过冷液体区域内应力的薄膜金属玻璃，并通过调节溅射过程中的Ar压力来控制内应力[2]以及通过热处理来减轻薄膜金属玻璃的应力。目的是生产平坦的隔膜，这是基本结构。

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来源
《電気学会センサ?マイクロマシン部門大会》|2017年|1-2|共2页
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作者
上嶋祥平; 秦誠一; 櫻井淳平;
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作者单位

名古屋大学工学科;

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名古屋大学工学科;

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