Edward L. Ginzton Laboratory, Stanford University, Stanford CA, USA 94305-4085;
RF detection; microphone; micromachined; CMUT; acoustic; ultrasonic; transducer;
机译:具有射频检测功能的宽带微机械电容式麦克风
机译:宽带声波激活和使用电容微机械超声换能器检测液滴蒸发事件
机译:基于脉冲的超宽带的跨层体系结构,支持射频识别和无线传感器网络基础架构的集成
机译:具有射频检测的宽带微机器声学传感器
机译:具有射频检测功能的宽带微机械麦克风。
机译:宽带声激活和使用电容微机械超声换能器检测液滴蒸发事件
机译:具有射频检测功能的宽带微机械声学传感器
机译:电容微机械膜和射频检测的声学传感。