microlithography; DUV; EUV; optical design; diffraction; limited; catadioptric; catoptric; dioptric;
机译:光致抗蚀剂的光致抗蚀剂分散在DUV,VUV,EUV和BEUV辐照上的光致抗蚀剂
机译:对DUV和IBP的强劲需求开发了下一代EUV光源
机译:对DUV和IBP的强劲需求开发了下一代EUV光源
机译:duv或euv,这是问题
机译:用于光刻的DUV和EUV光掩模中非平面相和多层缺陷的快速仿真方法。
机译:使用极端紫外(EUV)辐射和EUV诱导的氮等离子体的聚醚醚酮(PEEK)的物理化学表面改性
机译:用于低穿透深度光束的硅光电二极管,例如DUV / VUV / EUV光和低能电子
机译:聚合物对EUV和DUV暴露的酸生成效率的影响