Research Center for Ultra-Precision Science and Technology Graduate School of Engineering Osaka University, Yamada-oka 2-1, Suita, Osaka, 565-0871, Japan;
plasma CVM(chemical vaporization machining); EEM(elastic emission machining); X-ray mirror; elliptical mirror; kirkpatrick-baez; coherent X-ray; microfocusing;
机译:使用管电极进行光学制造的计算机数控等离子体化学汽化加工
机译:使用管电极进行光学制造的计算机数控等离子体化学汽化加工
机译:数控EEM(弹性排放加工)系统的开发
机译:通过数值控制的等离子体化学汽化机械(CVM)和弹性发射加工(EEM)的NM级精度中的非球面制造
机译:EEM(弹性发射加工)的超精密加工研究
机译:低表面粗糙度反应烧结碳化硅等离子化学汽化加工气体成分的优化
机译:通过数控等离子体CVM(化学蒸发加工)对SOI变薄 - 用于电子器件的加工表面 -
机译:高成本工程产品成本效益制造的科学与先进技术。第4卷。热效应对数控机床精度的影响