Electromagnetic optical switch for optical network communication

机译：用于光网络通信的电磁光开关

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The electromagnetic optical switch combines with Ni/Fe permalloy magnetic circuit design, high aspect ratio microstructure electroplating, bulk micromachining, excimer laser ablation and low temperature wafer bonding. The result shows it can output force 68mN, deflection angle can reach 82?only with 4820A/m, frequency can reach 2kHz, and bonding strength can be larger than 216 kg/cm~2.

机译：电磁光开关结合了镍/铁坡莫合金磁路设计，高纵横比微结构电镀，体微机械加工，准分子激光烧蚀和低温晶圆键合。结果表明，仅输出4820A / m，其输出力就可以达到68mN，偏转角可以达到82°，频率可以达到2kHz，粘结强度可以大于216kg / cm〜2。

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来源
《Conference on Optical Switching and Optical Interconnection Nov 12-15, 2001, Beijing, China》|2001年|p.240-246|共7页
会议地点 Beijing(CN)
作者
Cheng-Tang Pan; Sheng-Chih Shen; His-harng Yang; Min-Chieh Chou; Shinn-Tyan Wu;
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作者单位

ITRI, MIRL,M400, MEMS Research Div, Hsinchu, MIRL/ITRI Hsinchu, Taiwan 310;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词
MEMS; electromagnetic optical switch; excimer laser ablation; Ni/Fe permalloy; bulk micromachining;

机译：MEMS;电磁光开关准分子激光烧蚀；镍/铁坡莫合金批量微加工;

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