The University of Tokyo;
机译:朝SiO2上Si纳米晶体LPCVD沉积的多尺度建模:从头算到反应器规模模拟
机译:分析低应力氮化硅沉积的LPCVD工艺条件。第一部分:初步LPCVD实验
机译:LPCVD反应器上的化学反应建模(第一个报告,多晶硅膜生长速率分布的数值模拟)
机译:硅LPCVD反应器的多尺度分析
机译:核反应堆分析的多尺度方法。
机译:化学反应器中通过绝热循环压缩合成的碳化硅的结构化学状态数据
机译:朝在SiO2上进行Si纳米晶体LPCVD沉积的多尺度建模:从头计算到反应器规模模拟
机译:CVD反应器中化学和传输现象的详细建模。应用于钨LpCVD(Gedetailleerde modellering van Chemie en Transportverschijnselen in CVD Reactoren。Toepassing op Wolfraam LpCVD)