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机译:使用神经网络建模的等离子蚀刻工艺的运行到运行过程控制
机译:批量生产的关键尺寸控制向前迈出了一步:通过光刻和蚀刻工艺的跨晶圆级关键尺寸控制
机译:通过集成前馈和反馈运行间控制来控制等离子体蚀刻工艺的关键尺寸
机译:栅格蚀刻修剪过程的运行控制
机译:使用分类决策树进行工艺改进,以进行反应性离子蚀刻工艺的批量控制
机译:TRIM16通过调节p62-NRF2轴和自噬来控制蛋白质聚集体的组装和降解
机译:评估运行过程控制中的测量噪声影响:通过卡尔曼滤波器扩展EWMA控制器