IT-Related Chemicals Research Laboratory, Sumitomo Chemical Co. Ltd., Osaka 554-8558, Japan;
ArF resist; immersion lithography; polymer blend; functionally graded material; FGM; surface segregation; contact angle; QSPR;
机译:使用功能梯度材料(FGM)调整ArF抗蚀剂的表面性能
机译:进行材料定制以降低功能梯度材料(FGM)面板中圆孔处的应力集中系数
机译:功能梯度材料(FGM)薄膜的屈曲和起皱
机译:ARF的剪裁表面性能抵抗具有功能渐变材料(FGM)的薄膜
机译:五氧化二钒和二氧化钛基薄膜作为功能材料的结构性质相关性研究。
机译:使用含含唑酮的聚合物的纤维的官能化:逐层制造在头发和纤维素的材料表面上的反应性薄膜的制造
机译:使用功能分级材料(FGM)剪裁ARF抗蚀剂的表面性能
机译:表面和薄膜组成的作用和材料的微观结构和性能