Optron Systems, Inc., 3 Preston Court, Bedford, MA USA 01730;
MEMS; high-voltage; CMOS; VLSI; spatial light modulator; adaptive optics;
机译:基于平面度的静电驱动MEMS控制及其在自适应光学中的应用:仿真研究
机译:具有静电驱动的37致动器聚酰亚胺可变形镜,适用于自适应光学显微镜
机译:用于大功率应用的静电驱动MEMS继电器阵列
机译:寻址用于自适应光学应用的大型静电执行器阵列
机译:静电驱动微悬臂阵列的建模和控制。
机译:用于声换能器的驻极体增强型低压MEMS静电平面外执行器
机译:基于平面度的静电驱动MEMS控制及其在自适应光学中的应用:仿真研究