Characterization of Epitaxial-PZT/SI Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT) and its Phased Array System

机译：外延-PZT / SI压电微机械超声换能器（PMUT）及其相控阵系统的表征

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In this study, we have demonstrated the usability of an epitaxial lead zirconate titanate (Epi-PZT) thin film for a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pMUT) imager. At first, transmitting abilities and receiving sensitivities of the single-element pMUT based on Epi PZT and polycrystalline PZT (Poly-PZT) were evaluated as a fundamental study. Then, the 8-ch linear array system driven by a commercially-available pulser board was built, and successfully formed a focused ultrasonic beam. Finally, we obtained the ultrasonic images of a polydimethylsiloxane-based phantom by using the Epi-PZT and Poly-PZT pMUT linear array, and experimentally proved that Epi-PZT pMUT array can obtain higher contrast image compared to Poly-PZT device.

机译：在这项研究中，我们已经证明了外延钛酸锆钛酸铅（Epi-PZT）薄膜可用于压电微机械超声换能器（pMUT）成像器。首先，评估了基于Epi PZT和多晶PZT（Poly-PZT）的单元素pMUT的发射能力和接收灵敏度，作为基础研究。然后，构建了由市售脉冲发生器板驱动的8通道线性阵列系统，并成功地形成了聚焦超声束。最后，我们通过使用Epi-PZT和Poly-PZT pMUT线性阵列获得了基于聚二甲基硅氧烷的体模的超声图像，并通过实验证明Epi-PZT pMUT阵列与Poly-PZT器件相比可以获得更高的对比度图像。

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来源
《2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems amp; Eurosensors XXXIII》|2019年|246-249|共4页
会议地点 Berlin(DE)
作者
Ziyi Liu; Shinya Yoshida; Toshiaki Horie; Shoji Okamoto; Ryouichi Takayama; Shuji Tanaka;
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作者单位

Tohoku University, Sendai, JAPAN;

Tohoku University, Sendai, JAPAN;

Panasonic Corporation, JAPAN;

Panasonic Corporation, JAPAN;

Panasonic Corporation, JAPAN;

Tohoku University, Sendai, JAPAN;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
Sensitivity; Array signal processing; Acoustics; Ultrasonic imaging; Sonar equipment; Pressure measurement; Imaging;

机译：灵敏度;阵列信号处理;声学;超声成像;声纳设备;压力测量;成像;;

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