New RMS design based on SEMI E170 secured foundation of recipe management system — Masahide Hirouchi

机译：基于SEMI E170的新RMS设计为配方管理系统奠定了坚实的基础— Masahide Hirouchi

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A study of new RMS (Recipe Management System) design which is based on SEMI E170 SFORMS (Secured Foundation Of Recipe Management System) has been being done among Japanese device manufacturer, suppliers and system integrators. [1] This paper introduces the concept of SEMI E170 and reports current status of the study.

机译：日本设备制造商，供应商和系统集成商已在研究基于SEMI E170 SFORMS（配方管理系统的安全基础）的新型RMS（配方管理系统）设计。 [1]本文介绍了SEMI E170的概念，并报告了该研究的现状。

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来源
《2017 Joint International Symposium on e-Manufacturing and Design Collaboration amp; Semiconductor Manufacturing》|2017年|1-4|共4页
会议地点 HsinChu(CN)
作者
Ryuhichiroh Hattori;
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作者单位

International Business Machines, 10-10, Utsubohonmachi 1-chome, Nishi-ku Osaka-shi, Osaka 550-0004 Japan;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
Business; Security; Production facilities; Standards; Manufacturing; Facsimile;

机译：商业;安全;生产设施;标准;制造;传真;;

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